Semiconducteurs
EAG Laboratories est le leader mondial en caractérisation de matériaux pour l'industrie des semi-conducteurs.
À l'origine, le groupe EAG Laboratories a été fondé pour fournir des services d'analyse à l'industrie des semi-conducteurs et nous sommes restés fidèles à nos racines tout au long de notre parcours. Nos services d'analyse de surfaces et des densités sont consacrés à fournir les meilleures informations, pour apporter de la valeur ajoutée à tous nos clients relevant de ce secteur.
Nos techniques d'analyse des surfaces de microanalyses présentent une importance décisive qui les rend indispensables dans les domaines suivants :
- Développement de nouveaux procédés
- Caractérisation de procédés en cours
- Réduction du temps de développement
- Transfert des procédés à la production
- Confirmation de la pureté des matériaux de départ
- Qualification des nouveaux outils de production
- Résolution des problèmes de production qui diminuent les rendements
Exemples d'application
- Mesurer l'épaisseur, la densité et la composition des couches
- Évaluer l'efficacité du nettoyage en quantifiant les métaux en surface sur les wafers (substrats) en silicium
- Caractériser la dose des dopants et la forme des profils
- Identifier et situer l'emplacement des impuretés de niveau de traces dans les piles de semi-conducteurs
- Examiner la structure transversale des circuits intégrés
- Identifier la contamination des particules
- Identifier la contamination organique sur les wafers (substrats) en silicium
- Visualiser la morphologie des couches
- Identifier les défauts (haze) et la décoloration des wafers (substrats) en silicium
- Quantifier les dopants ou les impuretés dans les densités
