Évaluer la propreté des surfaces peut mettre en jeu un large éventail de différentes approches de l'opération de mesure, en fonction de la surface retenue et du matériau retenu. Cela peut passer aussi par la comparaison d’échantillons ayant subi des traitements différents ou ayant été exposés à différents environnements. Cette approche est souvent ce qui fait souvent le mieux ressortir les différences entre les échantillons du test et l’échantillon de contrôle ou de référence. Par exemple, une mesure très sensible peut révéler que le fait d’avoir nettoyé des produits chimiques a laissé des résidus subsister parce que ces produits n’ont pas été rincés correctement. Une technique de mesure moins sensible pourrait ne pas avoir décelé les résidus.

Évaluer les résidus exige en général d’avoir quelques éléments de compréhension des sources possibles de contaminants :

  • Les contaminants élémentaires moléculaires présentent-il un intérêt ?
  • La présence ou l’absence de matériaux doit-elle être confirmée ?
  • Y a-t-il un niveau spécifique à ne pas dépasser par cette espèce retenue ?

Faire des investigations sur des surfaces très propres peut nécessiter des techniques ayant des seuils de détection dans la fourchette de la partie par million, comme la Fluorescence totale des rayons X (TXRF), qui détecte uniquement les espèces élémentaires, ou la spectrométrie de masse à ionisation secondaire temps de vol (TOF-SIMS), qui s’intéresse à la fois aux contaminants élémentaires et aux contaminants moléculaires. Lorsque la propreté se mesure au nombre de particules en surface, la microscopie électronique à balayage (SEM) peut être le bon choix, tant pour l’imagerie des surfaces que pour le comptage des particules.

Techniques analytiques primaires

Techniques analytiques secondaires

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