RBS

Analyse par réaction nucléaire (NRA)

L’analyse par réaction nucléaire (NRA, abréviation de l’anglais « Nuclear Reaction Analysis ») sert à mesurer des éléments à faible numéro atomique Z (par exemple le carbone, le nitrogène, l’oxygène, le bore) dans les couches minces. Au cours de l'analyse NRA, le projectile premier Analyse par réaction nucléaire (NRA) - EAG Franceinduit une réaction nucléaire avec les noyaux à faible numéro atomique Z de la couche mince et éjecte des particules à énergie cinétique caractéristiques de réactions nucléaires spécifiques (par ex., des éléments à particules).

La NRA peut servir à mesurer quantitativement la concentration totale de B, C, N, et O présents dans une couche. Ces éléments peuvent être mesurés à une concentration beaucoup plus faible en utilisant la NRA que la RBS. En exécutant la NRA en combinaison avec l’analyse RBS, il est possible de déterminer la concentration des éléments légers dans les couches fines.

Très peu nombreux sont les laboratoires qui peuvent proposer la NRA commercialement, ou égaler l’expérience étendue et approfondie du groupe Evans Analytical Group®'s (EAG). Grâce à cette expérience, nous pouvons vous offrir des délais de livraison rapides, des données exactes et un service de personne à personne.

  • Mesurer de faibles niveaux de B, C, N, et O dans les couches minces

Éléments détectés : C, N, O, B

Seuils de détection : 0.5-1à%

Résolution en profondeur : aucune

Imagerie/cartographie : Non

Résolution en profondeur/taille de la sonde : >=1mm

  • Analyse compositionnelle sans effets destructeurs
  • Analyse quantitative sans normes
  • Analyse de wafers (substrats) entiers (jusqu'à 300 mm) ainsi que d'échantillons irréguliers et grands
  • Analyse des conducteurs et des isolants
  • Sensibilité des éléments à faible numéro atomique Z
  • Zone d'analyse : grande (1mm)
  • Pas de résolution en profondeur
  • Chaque élément nécessite un projectile spécifique, de sorte qu’il peut être nécessaire de faire des mesures multiples en fonction des éléments impliqués
  • Aérospatiale
  • Défense
  • Semi-conducteurs
  • Télécommunications
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