Imagerie/cartographie

Dans sa forme la plus simple, l’analyse par imagerie consiste à regarder une surface en se servant de la microscopie (soit optique, soit électronique). Les informations données sont restreintes par les capacités de l’instrumentation utilisée. La technique analytique primaire employée dans ce type d’analyse est la microscopie électronique à balayage (SEM).

Imagerie/cartographie

Il est possible de faire des investigations sur la distribution latérale (à savoir, l’emplacement) de l’espèce élémentaire, inorganique ou moléculaire en utilisant :

Imagerie/cartographie

Ces méthodes donnent des cartographies ou des images qui peuvent montrer les positions relatives des différentes espèces à retenir, en donnant des informations utiles au sujet des caractéristiques, des défauts, des particules, etc.

L’on peut aussi se servir d’autres techniques pour obtenir des images :

  • La spectroscopie Raman mesure généralement des vibrations moléculaires et donne des informations sur des groupes fonctionnels, des types de carbone et sur les contraintes/les tensions.
  • La microscopie à force atomique (AFM) donne des images de la rugosité des surfaces et aussi des images sur les propriétés de dureté et les propriétés magnétiques.
  • La spectroscopie  photo-électronique par rayons X (XPS) donne des cartographies élémentaires et chimiques.
  • La profilométrie optique peut produire des images à 3 dimensions des surfaces, pour mesurer la dimension de caractéristiques spécifiques ou pour analyser par imagerie des caractéristiques spécifiques.

À plus large échelle, pour la cartographie des substrats (wafer) jusqu’à 300 mm, la LEXES peut servir à faire la cartographie des dopants, de la composition et des impuretés des couches fines ; la XRR/XRF peut servir à faire la cartographie de l’épaisseur et de la densité des couches ; la TXRF peut servir à faire la cartographie des contaminants élémentaires.

Techniques analytiques primaires

Techniques analytiques secondaires

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