RBS

Spectrométrie de diffusion avant de l'hydrogène (HFS)

La spectrométrie de diffusion avant de l'hydrogène (HFS, abréviation de l’anglais « Hydrogen Forward Scattering Spectrometry ») est une technique de diffusion d’ions qui sert à profiler quantitativement la concentration d'hydrogène dans les couches minces. Au cours du processus, les ions He2+ frappent la surface de l'échantillon à angle rasant, en faisant sortir les atomes d'hydrogène de l'échantillon sous l’effet du choc, lesquels sont analysés par un détecteur à semi-conducteurs.

La capacité de mesurer la composition et la distribution de la teneur en hydrogène à l'intérieur d'une couche mince peut être critique, en raison de l'impact potentiel de l'hydrogène sur les propriétés physiques ou électriques d'une couche. D'autres techniques, comme la spectroscopie des électrons d’Auger (AES), la spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDS) et la spectroscopie photoélectronique par rayons X (XPS) ne peuvent détecter l'hydrogène ; et bien que la SIMS puisse mesurer l'hydrogène, la quantification de l'hydrogène par la SIMS peut être difficile. Ceci fait de la HFS une technique d’une utilité unique en son genre pour l'analyse des couches minces.

Très peu nombreux sont les laboratoires qui sont en mesure de proposer de la HFS avec l’expérience étendue et approfondie du groupe Evans Analytical Group®'s (EAG). Grâce à l'expérience que nous avons chez EAG, nous pouvons vous offrir des délais de livraison rapides, des données exactes et un service de personne à personne, ce qui vous assure de comprendre ce que les résultats signifient pour vos matériaux et vos procédés.

  • Analyse à l’hydrogène des couches minces

Signaux détecté : H atomes H diffusés en avant

Éléments détectés : 1H, 2H

Seuils de détection : 0.1à%

Imagerie/Mappage : Non

Résolution en profondeur/taille de la sonde : >=1mm x 5mm

  • Mesure de la composition sans effets destructeurs
  • Analyse de wafers (substrats) entiers (jusqu'à 300 mm) ainsi que d'échantillons irréguliers et grands
  • Analyse des conducteurs et des isolants
  • Zone d'analyse : grande (1mm x 5mm)
  • Informations utiles limitées aux couches minces (<0.5μm)
  • Résolution en profondeur de 300Å
  • Aérospatiale
  • Défense
  • Écrans d’affichage
  • Semi-conducteurs
  • Télécommunications
Nous contacter 14 Avenue du Docteur Maurice Grynfogel
ZAC Basso Cambo II
31100 Toulouse - France
© Copyright 2019 EAG Inc.     |    All Rights Reserved    |    Mentions légales