Spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier, analyse FTIR

Spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier, analyse FTIRDans une analyse par spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR, d'après l'anglais « Fourier Transform Infrared Spectroscopy »), on obtient un spectre montrant des vibrations moléculaires pour modifier ou caractériser des matériaux organiques comme les polymères, les lubrifiants, les agents adhésifs et nettoyants. Un nombre limité de composés inorganiques peuvent aussi être évalués en recourant à l'analyse FTIR. Pour les semi-conducteurs, la FTIR sert à faire des mesures quantitatives des liaisons d'hydrogène à nitrure de silicium pour mesurer la teneur en oxygène interstitiel dans les blocs de densités (bulks) de silicium.

Chez Evans Analytical Group® (EAG), presque toutes les analyses FTIR sont faites avec un microscope FTIR. Le micro-FTIR, avec un réglage de la tache de faisceau de 15µm minimum, est idéal pour l'analyse directe in situ de contaminants organiques sur les surfaces métalliques comme les pattes de soudure ou les contacts. Pour l'identification des contaminants sur les surfaces non métalliques, comme les lentilles ou d'autres composants optiques, ou pour l'analyse de matériaux organiques sous forme de blocs de densités (bulk), chez EAG, on utilise des méthodes spécialisées de préparation des échantillons.

Spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier, analyse FTIR - EAG FranceLes scientifiques d’EAG spécialisés en recherche analytique ont une très grande expérience et de très grandes connaissances dans l'application des analyses FTIR à une grande variété de problèmes relatifs aux matériaux organiques ou aux contaminants organiques. Expérience, délais de livraison rapides, rapports écrits clairs et concis et service de personne à personne : voici ce que nous offrons pour aider nos clients à résoudre leurs problèmes de matériaux.

 

 

 

  • Identifier les contaminants organiques (par ex., particules, résidus) Caractérisation ou identification des matériaux organiques (par ex., les solides, les poudres, les couches ou les liquides) Quantification de O et H dans les wafers (substrats) Si, et de H dans les wafers SiN (Si-H par rapport à N-H)

Signal détecté : absorption infrarouge

Éléments détectés : groupes moléculaires

Seuils de détection : 0.1-1wt%

Résolution en profondeur : 0.1-2.5µm

Imagerie/cartographie : Non

Résolution en profondeur/taille de la sonde : >=15µm

  • Capable d'identifier des groupes fonctionnels organiques et des composés organiques souvent spécifiques
  • Bibliothèques étendues de spectres pour l'identification des composés
  • Conditions ambiantes (pas de vide ; bien pour les composés volatiles)
  • Généralement non destructeur
  • Zone minimum d'analyse : ~15µm
  • Sensibilité limitée aux surfaces (les volumes classiques d'échantillonnage sont ~0.8µm)
  • Zone minimum d'analyse : ~15µm Informations inorganiques limitées
  • Généralement non quantitatif (a besoin de normes)
  • Aérospatiale
  • Automobile
  • Biomédical/biotechnologie
  • Semi-conducteurs composés
  • Stockage de données
  • Défense
  • Écrans d'affichage
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