Imagerie par faisceau d'ions localisés, analyse FIB

Imagerie par faisceau d'ions localisés, analyse FIBUn instrument d'imagerie par faisceaux d’ions localisés (FIB, d'après l'anglais « Focused Ion Beam ») utilise un faisceau d'ions finement localisés pour modifier et numériser en image l'échantillon qui vous intéresse. La FIB est principalement utilisée pour créer des sections transversales très précises d’un échantillon pour le soumettre ultérieurement à un procédé d'imagerie par SEM, STEM ou TEM ou pour faire des modifications de circuit. À titre supplémentaire, l’imagerie FIB peut servir à numériser directement l'échantillon en image, en détectant des électrons émis soit par le faisceau ionique, soit par le faisceau électronique. Le mécanisme de contraste en FIB diffère de celui en SEM ou en S/TEM, de sorte que dans certains cas, l’on peut obtenir des informations structurelles uniques. Une FIB/SEM à double faisceau intègre deux techniques en un seul outil alors qu'un un faisceau ionique ne contient qu'un faisceau d'ions, l’imagerie par faisceaux d'électrons ayant lieu dans un instrument séparé SEM, TEM ou STEM.

Préparation des échantillons

Outil de préparation des échantillons, la FIB peut produire avec exactitude des sections transversales d’un échantillon qu'il serait impossible de créer autrement :

  • L'analyse FIB a révolutionné la préparation des échantillons pour les échantillons TEM, en rendant possible l'identification d’éléments inférieurs la taille du micron et de préparer des sections transversales avec précision.
  • Les sections préparées par FIB sont très utilisées en microscopie SEM, ou la préparation par FIB, l’imagerie SEM et l'analyse élémentaire peuvent se faire sur le même outil multi-technique.
  • Les sections préparées par FIB sont aussi utilisées dans la spectroscopie des électrons d'Auger pour fournir une identification élémentaire des éléments sous la surface, avec rapidité et précision.
  • C'est un outil idéal pour examiner les produits avec de petits éléments, difficiles d'accès, comme ceux que l'on trouve dans l'industrie des semi-conducteurs et pour l'identification des particules sous la surface.
  • C'est une bonne option pour les produits dont il est difficile de faire des sections transversales, comme les polymères mous, qui sont difficiles à polir.

Imagerie par faisceau d'ions localisés, analyse FIB - EAG France

Le groupe Evans Analytical Group® (EAG) travaille dans un large éventail de matériaux et aide régulièrement des sociétés à faire des préparations et des analyses d'échantillons en recourant à la FIB. Aucun autre laboratoire ne peut prétendre égaler EAG pour la gamme de compétences, l'expérience et la flotte d'instruments qui existent chez EAG. De plus, vous pouvez compter sur des délais de livraison rapides, des données exactes et un service de personne à personne, ce qui vous assure de comprendre les informations que vous recevez.

  • Préparation des échantillons SEM, STEM et TEM
  • Sections transversales à haute résolution de petits éléments difficiles d'accès
  • Micro-échantillonnage par prélèvement in-situ

Signaux détectés : électrons, ions secondaires, rayons X, lumière (cathodoluminescence)

Imagerie/cartographie : Oui

Résolution profondeur/Taille de la sonde : 7nm (faisceau d’ions) ; 20nm (faisceau d‘électrons)

  • La meilleure méthode pour faire les sections transversales de petites cibles
  • Imagerie rapide à haute résolution imagerie à bon contraste granulaire
  • Plate-forme polyvalente qui accepte beaucoup d'autres outils
  • Compatibilité avec le vide généralement nécessaire
  • L'imagerie peut nuire à des analyses ultérieures
  • Ga résiduel sur la face analytique
  • Les dommages causés par le faisceau d’ions peuvent limiter la résolution de l'image
  • La zone correspondant à la section transversale est petite
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