Spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie, analyse EDS

Spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie, analyse EDSLa spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (ou EDS, abréviation de l’anglais « Energy Dispersive X-ray Spectroscopy ») est une faculté analytique qui peut être couplée avec plusieurs applications, dont la microscopie électronique par balayage (SEM), la microscopie électronique en transmission (TEM) et la microscopie électronique en transmission par balayage (STEM).

Combinée à ces outils d'imagerie, l’EDS peut donner l'analyse élémentaire sur des surfaces aussi petites que la taille du nanomètre en diamètre. L'impact du faisceau d'électrons sur l'échantillon produit des rayons X qui sont caractéristiques des éléments présents sur l'échantillon. L'analyse peut servir à déterminer la composition élémentaire de points individuels ou à faire ressortir par cartographie la distribution latérale d'éléments issus de la zone numérisée sous forme d’image.

Analyse EDS - EAG France

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  • Imagerie et composition élémentaire des petites surfaces
  • Identification/cartographie des éléments présents dans les défauts

Signal détecté : rayons X caractéristiques

Éléments détectés : B-U

Seuils de détection : 0.1-1à%

Résolution en profondeur : 0.5-3μm

Imagerie/cartographie : Oui

Résolution en profondeur/taille de la sonde : >=0.3μm

  • Analyse compositionnelle rapide, « au premier coup d’œil »
  • Polyvalente, peu onéreuse et facilement disponible parce que très répandue
  • Quantitative pour certains échantillons (plats, polis, homogènes)
  • Semi-quantification des échantillons qui ne sont pas plats, polis et homogènes
  • Restrictions de tailles sur les échantillons
  • Les échantillons doivent être compatibles avec le vide (pas l’idéal pour les matériaux organiques humides)
  • L'analyse (et le revêtement) peut nuire à l'analyse ultérieure de la surface
  • Sensibilité limitée pour les éléments à faible numéro atomique Z
  • Aérospatiale
  • Automobile
  • Biomédical/biotechnologie
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