Analyse des couches fines

L’analyse des couches fines couvre un large éventail de scénarios possibles qui ont une forte influence sur le choix de la technique :

  • l’épaisseur des couches peut aller de quelques Å (10-10m) au mm (10-3m) en passant par la fourchette µm (10-6m) ;
  • la sensibilité de la mesure varie en fonction des techniques, allant de la fourchette à% en descendant jusqu’aux parties par million ;
  • la zone analytique latérale peut être de taille illimitée comme très restreinte.

Les couches s’analysent généralement de deux manières : verticalement, du haut vers le bas ou du bas vers le haut ; ou horizontalement, en section transversale.

L’analyse du haut vers le bas en surface donne des informations sur la rugosité, la morphologie, ainsi que sur la composition des surfaces et les contaminants. Une pulvérisation ultérieure peut faire découvrir des informations supplémentaires, comme l’épaisseur, la composition, ainsi que les niveaux de dopants et de contaminants. Les analyses des sections transversales peuvent révéler l’épaisseur, la taille du grain et la cristallinité.

Analyse des couches fines

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