Microscopie à force atomique, analyse AFM

Microscopie à force atomique, analyse AFMLa microscopie à force atomique (AFM, d'après l'anglais « Atomic Force Microscopy ») donne des images avec une topographie des surfaces de résolution atomique ou proche de la résolution atomique, en étant capable de quantifier la rugosité de la surface des échantillons jusqu'à l'échelle de l'angström. En plus de présenter une image des surfaces, l’AFM peut aussi donner des mesures quantitatives de la taille des éléments, comme les hauteurs des marches, et d'autres dimensions. De plus, la microscopie à force magnétique (MFM), qui est une variation de l’AFM, est capable de cartographier les domaines magnétiques des échantillons.

Voici quelques exemples d'applications de la microscopie à force atomique :

  • Évaluation des wafers (SiO2, GaAs, SiGe, etc.) avant et après le traitement
  • Détermination des effets du traitement (par ex., le traitement au plasma) sur les appareils biomédicaux comme les lentilles de contact, les cathéters et les stents enduits
  • Examen de l'impact de la rugosité de la surface sur l'adhérence
  • Évaluation de la forme de la tranchée/propreté sur wafers striés ou à motifs
  • Savoir si la morphologie est la source des défauts (haze) de surface

Microscopie à force atomique, analyse AFM

  • Imagerie topographique à trois dimensions des surfaces, dont la rugosité de la surface, la taille du grain, la hauteur des marches et le pitch
  • Imagerie d'autres caractéristiques des échantillons, dont le champ magnétique, la capacité, le frottement et la phase

Signal détecté : topographie

Résolution verticale : 0.1Å

Imagerie/cartographie : Oui

Résolution en profondeur/taille de la sonde : 15-50Å

  • Quantifier la rugosité de la surface
  • Analyse de wafers (substrats) entiers (jusqu'à 300 mm)
  • Résolution spatiale élevée Imagerie des échantillons conducteurs et isolants
  • Limites de la fourchette de balayage : 100µm latéralement (xy) et 5µm verticalement en direction verticale (z)
  • Problèmes potentiels avec des échantillons rugueux ou à forme extrêmement étrange
  • Des erreurs dues à la pointe du microscope sont possibles
  • Aérospatiale
  • Automobile
  • Biomédical/biotechnologie
  • Semi-conducteurs composés
  • Stockage de données
  • Défense
  • Écrans d’affichage
  • Électronique
  • Produits industriels
  • Éclairage
  • Produits pharmaceutiques
  • Photonique
  • Polymères
  • Semi-conducteurs
  • Photovoltaïque
  • Télécommunications
Nous contacter 94, chemin de la Peyrette
31170 Tournefeuille, France
© Copyright 2017 EAG Inc.     |    All Rights Reserved    |    Mentions légales