Analyse par spectroscopie des électrons d'Auger (AES, Auger)

Analyse par spectroscopie des électrons d'Auger (AES, Auger)La spectroscopie des électrons d'Auger est une technique analytique sensible aux surfaces qui utilise un faisceau électronique à haute énergie comme source d'excitation. Les atomes sont excités par le faisceau électronique peuvent devenir libres, entraînant l'émission d'électrons « Auger ». Les énergies cinétiques des électrons Auger émis sont caractéristiques des éléments présents dans les premiers 5-10nm de l'échantillon.

Le faisceau électronique peut être balayé sur une zone de taille variable, ou peut être directement centré sur la caractéristique à petite surface qui vous intéresse. Cette capacité de centrer le faisceau électronique sur des diamètres de 10-20nm fait d'Auger un outil extrêmement utile pour faire l'analyse élémentaire d’éléments à petite surface. Utilisée en combinaison avec des sources de pulvérisation d’ions, Auger peut effectuer un profilage en profondeur compositionnel.

Analyse par spectroscopie des électrons d'Auger (AES, Auger)Le groupe Evans Analytical Group® (EAG) a une expérience inégalée pour traiter les demandes d'analyse, de routine ou non, et applique l'analyse d’Auger depuis de nombreuses années à de nombreux types d'investigations industrielles.

L'expertise étendue d’EAG dans l'analyse d'Auger a des avantages analytiques directs, que nous analysions des particules pour déterminer les sources de contamination dans les équipements de traitement des wafers ou que nous analysions les défauts des appareils électroniques pour rechercher la cause fondamentale des défaillances. Auger a des applications étendues dans les études métallurgiques, y compris pour déterminer l'épaisseur de la couche des oxydes des appareils médicaux à polissage électrolytique, et chez EAG, nous puisons continuellement dans notre expérience pour aider à résoudre les problèmes exigeants présentés par nos clients.

  • Analyse des défauts
  • Analyse des particules
  • Analyse des surfaces
  • Profilage en profondeur des petites surfaces
  • Analyse de la composition des couches minces

Signaux détectés : électrons d'Auger provenant d'atomes près de la surface

Éléments détectés : Li-U

Seuils de détection : 0.1-1à% sous-monocouche

Résolution en profondeur : 20-200Ǻ (mode profilage)

Imagerie/cartographie : Oui

Résolution latérale/taille de la sonde :
>=0,2μm (source LaB6)
>=70Ǻ (émission par effet de champ)

  • Excellente sensibilité à la surface (5-10nm de profondeur d’information)
  • Bonne résolution en profondeur
  • Normes requise pour obtenir la meilleure quantification
  • Les isolants sont difficiles
  • Résidu Ga sur la face analytique
  • Les échantillons doivent être compatibles avec le vide
  • Sensibilité de détection assez médiocre (0,1à% au mieux)
  • Aérospatiale
  • Biomédical
  • Stockage de données
  • Défense
  • Écrans d'affichage
  • Électronique
  • Semi-conducteurs
  • Télécommunications
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